D500压力不敏感型高性能质量流量控制器
HORIBA株式会社堀场制作所 的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块
概要
最的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块
特征
压力不敏感性
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
多量程,多气体,多种压力的解决方案
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
高精度
的三维调节已改进工艺气体的流量精度
快速响应
响应速度＜0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制
动态范围
控制范围：0.2% F.S. ~ 99% F.S.
制造: HORIBA STEC
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