HORIBA S48-28气体质量流量控制器
特点
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
流量范围100L-200L/min
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的抑制
化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
良好的选择性
S48 28/HMT模拟式气体质量流量控制器 技术参数
特点
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
流量范围100L-200L/min
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的抑制
化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
良好的选择性
S48 28/HMT模拟式气体质量流量控制器 技术参数
| 项目 | S48 28/HMT | |
| 流量规格 | (100,150,200)L/min | |
| 调节阀类型 | 电磁调节阀 | |
| 调节阀静止状态 | 常闭 | |
| 安装角度 | 任意 | |
| 流量控制范围 | 5%～99% | |
| 流量测量范围 | 0～99% | |
| 响应时间 | 2s（T98，设定值的±2% F.S.） | |
| 工作环境温度 | 5℃～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15℃～35℃ | |
| 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 线性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 重复性 | ±0.2%F.S. | |
| 工作压差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
| 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡胶 | |
| 管路接头 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
| 供电电源 | ±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA | +24VDC(宽电压+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供电时) |
| 设定信号 | (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
| 流量输出信号 | (0～5)VDC 负载能力≤3mA | |
| 电气接头 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 重量(kg) | 2.8 | |
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